반도체 산업안전
한국폴리텍대학 청주캠퍼스 반도체시스템과
전상철 교수님 강의입니다.
차시 | 강의명 |
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1강. 반도체 산업 개요 및 반도체 제조 공정 | |
1차시 | 1차시. 반도체 산업의 특징 |
2차시 | 2차시. 반도체 제조공정 |
2강. 산업안전보건법과 중대재해처벌법 | |
3차시 | 1차시. 산업안전보건법 |
4차시 | 2차시. 중대재해 처벌법 |
3강. 연구실 안전환경조성에 관한 법률 및 위험성 평가 | |
5차시 | 1차시. 연구실 안전환경 조성에 관련 법률 |
6차시 | 2차시. 위험성 평가 |
4강. 물질안전보건자료(MSDS)와 GHS 경고표시 | |
7차시 | 1차시. 물질안전보건자료(MSDS) 이해 |
8차시 | 2차시. GHS 경고표시 |
5강. 반도체 팹(FAB) 개요 및 안전관리 | |
9차시 | 1차시. 반도체 팹(FAB) 개요 |
10차시 | 2차시. 반도체 팹(FAB) 안전관리 |
6강. 유틸리티(UTILITY) 개요 및 안전관리 | |
11차시 | 1차시. 유틸리티 개요 |
12차시 | 2차시. 유틸리티 안전관리 |
7강. 실리콘 웨이퍼 제조 및 안전관리 | |
13차시 | 1차시. 실리콘 웨이퍼 제조 |
14차시 | 2차시. 웨이퍼 제조 안전관리 |
8강. 포토(PHOTO)공정 개요 및 안전관리 | |
15차시 | 1차시. PHOTO 공정 개요 |
16차시 | 2차시. PHOTO 공정 안전관리 |
9강. 식각(ETCH)공정 개요 및 안전관리 | |
17차시 | 1차시. ETCH 공정 개요 |
18차시 | 2차시. ETCH 공정 안전관리 |
10강. 확산(DIFFUSION)공정 게요 및 안전관리 | |
19차시 | 1차시. DIFFUSION 공정 개요 |
20차시 | 2차시. DIFFUSION 공정 안전관리 |
11강. 빅막(THIN FILM) 공정 개요 및 안전관리 | |
21차시 | 1차시. THIN FILM 공정 개요 |
22차시 | 2차시. THIN FILM 공정 안전관리 |
12강. 이온주입(ION IMPLANT)공정 개요 및 안전관리 | |
23차시 | 1차시. ION IMPLANT 공정 개요 |
24차시 | 2차시. ION IMPLANT 공정 안전관리 |
13강. 웨이퍼 평탄화(CMP)공정 개요 및 안전관리 | |
25차시 | 1차시. CMP 공정 개요 |
26차시 | 2차시. CMP 공정 안전관리 |
14강. 세정(CLEANING) 공정 개요 및 안전관리 | |
27차시 | 1차시. CLEANING 공정 개요 |
28차시 | 2차시. CLEANING 공정안전관리 |
15강. 조립(PACKAGING)공정 개요 및 안전관리 | |
29차시 | 1차시. PACKING 공정 개요 |
30차시 | 2차시. PACKAGING 공정 안전관리 |