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반도체장비 제어반 설계

  1. 반도체장비 제어반 설계

반도체장비 제어반 설계
한국폴리텍대학 반도체융합캠퍼스 반도체전기시스템과
왕 현 철 교수, 이 선 종 교수

강의목차
차시 강의명
1차시 Chapter 01. 반도체장비 개요
2차시 Chapter 02. 반도체장비 개요도
3차시 Chapter 03. 반도체장비 제어 모듈
4차시 Chapter 04. 반도체장비 전장설계
5차시 Chapter 05. 전장 사양 설계
6차시 Chapter 06. 전장 블록도
7차시 Chapter 07. 전장 BOM
8차시 Chapter 08. 전장 주요부품
9차시 Chapter 09. 제어반 전원 설계
10차시 Chapter 10. 제어반 통신 설계
11차시 Chapter 11. 제어반 I/O 설계
12차시 Chapter 12. 제어반 기기 배치
13차시 Chapter 13. 제어반 배선 설계
14차시 Chapter 14. 인터락 및 EMO
15차시 Chapter 15. 플라즈마 장비 전장설계